8.5 工艺真空和清扫真空

8.5.1 生产厂房工艺真空系统的设计应符合下列规定：

    1 工艺真空系统的抽气能力应按生产工艺所需实际用气量及系统损耗量确定；

    2 抽气设备应布置在生产厂房内；

    3 应选用能耗及噪声低的设备；

    4 工艺真空系统宜设置真空压力过低保护装置；

    5 真空系统中应至少备用一台真空泵。

8.5.2 工艺真空系统的管道设计应符合下列规定：

    1 应布置成树枝状形式；

    2 工艺真空主管道的直径应按全系统的实际抽气量进行设计，支干管道的直径应按局部系统的实际抽气量进行设计，支管道的直径应按设备最大抽气量进行设计；

    3 工艺真空系统的管道材料宜选用热镀锌钢管或厚壁聚氯乙烯管道；

    4 工艺真空系统的管道采用软管连接时，应选用金属软管；

    5 工艺真空管道宜架空敷设。

8.5.3 生产厂房清扫真空系统应符合下列规定：

    1 当净化区面积小于1000㎡时，可采用移动式清扫真空系统；

    2 清扫真空系统的抽气能力应按同时使用清扫真空点的数量及每个使用点的抽气量确定；